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激光干涉儀定位的大尺寸三維運動臺



      產(chǎn)品描述：
     激光干涉儀定位的大尺寸三維運動臺
     三軸高精度定位
     定位精度可達亞微米級

       激光干涉儀定位的大尺寸三維運動臺，部件加工精度要求極高，運行環(huán)境也有極為苛刻的條件。
  行程   X軸：100mm，
  Y軸：2000mm，
  Z1軸：1m和Z2軸：40mm。
  位移分辨率   X、Y、Z1、Z2四軸：≤10nm。
  雙向定位精度   X軸：±0.15um/100m；
  Y軸：±0.1um/3.5mm；
  Z1和Z2軸：±0.15um/40mm
  重復定位精度
  X軸：±0.1μm/100mm；
  Y軸：±0.15μm/1000mm；
  Z1軸和Z2軸：±0.1μm/40m。
  注：詳情請電話咨詢。