成都科豐芯緣科技有限公司
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聯(lián)系：王先生
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五軸干涉儀
任意兩軸平行度可達(dá)角秒級
測量精度極高
五軸同時(shí)測量
五軸干涉儀全稱五軸平面鏡干涉儀，包括一個(gè)四軸干涉儀和一個(gè)差分干涉儀。
| 任意兩軸平行度 | <10" |
| 光學(xué)非線性 | <1nm |
| 軸數(shù) | 5 |
| 尺寸可定制 | |
| 注：該參數(shù)指標(biāo)不是固定的，根據(jù)客戶需求或?qū)嶋H情況有所變動 | |
四軸干涉儀
差分干涉儀
