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三軸平面鏡干涉儀

 
     產(chǎn)品描述:
    測量精度極高
    任意兩軸平行度可達(dá)角秒級
    輕松對光,使用方便
    安裝簡單


 

          三軸干涉儀,全稱三軸平面鏡干涉儀,能對俯仰、滾動角、偏擺角、長度等任意三個參數(shù)之間進(jìn)行組合測量,一個三軸干涉儀便可以完成測量。任意兩軸的出射光平行度在10"以內(nèi),光軸距離精度<0.1mm,溫度穩(wěn)定性在40nm/℃,測量角范圍:角度范圍:俯仰和滾動角±1mrad@300㎜, 偏擺角±1.5mrad@300㎜。
  任意兩軸平行度   <10"
  光軸距離精度   <0.1mm
  光學(xué)非線性   ±2nm
  溫度穩(wěn)定性   40nm/℃
  角度范圍   俯仰或滾動角±1mrad@300mm,或偏擺角±1.5mrad@300mm
  光學(xué)效率   平均18%
  固有頻率   <1000hz
  尺寸可定制
  注:該參數(shù)指標(biāo)不是固定的,根據(jù)客戶需求或?qū)嶋H情況有所變動

產(chǎn)品展示


                                        多軸平面鏡干涉儀(1)


                                       多軸平面鏡干涉儀(2)