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三軸平面鏡干涉儀(接收器一體)


     產(chǎn)品描述:
     三軸線性測量光學(xué)鏡組
     可同時測量長度,俯仰,偏擺
     長度分辨率可達(dá)0.3nm
     角度分辨率可達(dá)0.002"
     適用于測量物體的位移、偏擺和俯仰
     設(shè)計小巧,易于安裝


        三軸平面鏡干涉儀,又稱三軸線性測量干涉儀(接收器一體),屬于多軸多自由度激光干涉系統(tǒng)中的光學(xué)組件,接收器和光學(xué)鏡組一體包含在金屬殼內(nèi),不再額外配置接收器,使用方便。一個鏡組,便可以完成對長度、俯仰角偏擺角三個參數(shù)的高精度測量。
        詳情請電話咨詢。

  長度分辨率   0.3nm
  角度分辨率   0.002"
  角度測量范圍   ±5°
  注:客戶可按需求定制