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雙軸干涉儀


   
     產(chǎn)品描述:
    雙軸同時測量
    任意兩軸平行度達(dá)角秒級
    使用簡單方便



 

 


       雙軸干涉儀,全稱雙軸平面鏡干涉儀,是多個平面光學(xué)鏡按照設(shè)計的通光路徑進(jìn)行高精度膠合,組成一個新的光學(xué)鏡組。該雙軸干涉儀,可同時測量兩個位移,任意兩軸間出射光線平行度精度能達(dá)到角秒級,光軸距離精度<0.1mm,使用也更加簡單方便。組成的激光測量系統(tǒng),測量精度能達(dá)到亞納米級。
  任意兩軸平行度   <8"
  光軸距離精度   <0.1mm
  光斑直徑兼容性   6~9mm
  光學(xué)非線性   ±2nm
  溫度穩(wěn)定性   40nm/℃
  角度范圍   俯仰或滾動角±1.5mrad@300mm,
  偏擺角±1.5mrad@300mm
  光學(xué)效率   平均30%
  固有頻率   <1000hz
  尺寸大小可定制
  注:該參數(shù)指標(biāo)不是固定的,根據(jù)客戶需求或?qū)嶋H情況有所變動

產(chǎn)品展示


                                             雙軸干涉儀


                                       雙軸干涉儀外殼