成都科豐芯緣科技有限公司
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聯(lián)系：王先生
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推薦產(chǎn)品Products
多軸平面鏡干涉儀
產(chǎn)品描述：
體積小巧，設(shè)計美觀
特有的鏡組膠合工藝
滿足高精度、多軸同時測量分辨率達到亞納米級
穩(wěn)定性高
多軸平面鏡干涉儀，具有光學(xué)傳感器預(yù)對準(zhǔn)、光束平行性好、非線性誤差小、熱漂移小等特點。可以同時滿足直線度、平行度、平面度、垂直度等的組合測量或是同一度量值的不同方向測量。一個多軸測量鏡組便可同時支持多個一般鏡組才能完成的測量工作，減小安裝體積，便于合理安排安裝位置。
客戶可以根據(jù)需求定制所需的光學(xué)鏡組和組件。
客戶可以根據(jù)需求定制所需的光學(xué)鏡組和組件。
| 任意兩軸平行度 | <10" |
| 光軸距離精度 | <0.1mm |
| 光學(xué)非線性 | ±2nm |
| 溫度穩(wěn)定性 | 40nm/℃ |
| 角度范圍 | 俯仰和滾動角±1mrad@300mm， 偏擺角±15mrad@300mm |
| 光學(xué)效率 | 平均18% |
| 固有頻率 | <1000hz |
| 尺寸 | 可定制 |
多軸平面鏡干涉儀
